纳米加工基础与应用 微纳米加工技术及其应用

　　现代工业中所使用的设备系统正变得越来越小，大部分已经达到了纳米级水平。纳米加工的目的是构建一些可以作为组件、设备或系统的纳米结构，这些纳米结构可以大大地降低潜在工业成本。纳米加工对于所有的纳米技术领域都是非常重要的，特别是涉及到工程和科学传统领域中的纳米技术的运用。这是专门研究关于纳米结构、设备和系统制造技术的同类书籍的第一本，旨在满足研究人员不断增长的科研需求。在这本专著中，作者介绍了自下而上和自上而下两种制造技术。同时强调了多学科原则、方法学以及实际的应用。
　　本书共含16章，1，采用扫描探针显微镜操纵原子、分子、纳米簇来进行纳米加工；2，原子力显微镜光刻技术；3，用于纳米成像、传感及修饰的阵列扫描探针技术；4，生物分子自组装构建纳米结构和纳米器件；5，基于自组装氧化铝模板的纳米加工技术；6，纳米线自组装；7，对玻璃纳米线的锥形加I；8，超紫外线光刻技术；9，电子投影光刻技术；10，电子束直写技术；11，电子束诱导沉积技术；12，高分辨电子束诱导沉积技术；13，聚焦离子柬与固体之间的作用；14，采用特殊刻蚀方法研究陶瓷表面的微纳米级结构；15，用于非CMOS应用的其他纳米加工手段；16，纳米电学机械学系统中出现的新纳米加工技术。
　　本书各章节均为相关领域的专家所著，既包含了详实的理论同时又囊括了该领域的最新发展。本书对于从事纳米加工的科研工作者来说是一本不可多得参考书。