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【开发特色工艺平台,成就客户产品芯愿】透染好还是茶芯工艺好

发布时间:2019-02-16 04:47:29 影响了:

   华虹NEC为国内外客户提供涵盖1.0~0.13微米工艺的、专业的、高附加值代工服务,成功开发了嵌入式非挥发性存储器(Embedded Non-volatile Memory,eNVM)、模拟/电源管理芯片、高压、射频以及功率器件等特色工艺平台(见下图)以及逻辑、混合信号等通用工艺平台,代工产品已广泛应用于智能卡(第二代身份证卡、SIM卡、社保卡等)、通讯、计算机、消费类电子以及汽车电子等领域。
  
  
  1特色工艺平台之一eNVM平台
  
  eNVM工艺平台的主要应用产品如图2所示,在国内市场上有着很大的市场需求空间。 二代身份证卡、SIM卡、社保卡、银行卡、电子门票等芯片都是使用eNVM工艺制造的。华虹NEC始终密切关注着这个领域的市场和技术发展态势,顺应其发展方向,进行技术创新升级,从0.35微米发展到现在的0.13微米工艺,华虹NEC一直保持着嵌入式非挥发性存储器技术的领先地位。EF130 (0.13um eFlash 嵌入式闪存) 工艺是华虹NEC最新推出的的工艺平台,该工艺采用SONOS技术(Silicon Oxide Nitride Oxide Silicon),具有业界极具竞争力的性价比,进一步降低了智能卡、MCU和SoC等产品的生产成本。
   与传统浮栅(Floating Gate)闪存单元结构相比,SONOS的主要优点是工艺简单,制造成本低,与标准CMOS工艺高度兼容性性以及更高的可靠性与更低静态功耗等。
  
  EF130工艺平台拥有中大容量的嵌入式闪存IP,齐全的模拟IP,高速静态随机存储器和低功耗设计库,高性能的IO单元以及完善的产品和测试方案。产品平台具备拓展性的1.6~5.5V宽电压支持能力。嵌入式闪存工艺在工业温度范围内已达到业界领先的可靠性指标,运用该技术平台开发的产品的擦写寿命超过20万次,数据保存时间可达10年以上。该工艺同时具有极低的静态功耗,相当于同类工艺产品的10%的。其特性使产品更具竞争优势。
  
  SONOS 嵌入式闪存工艺正在成为主流非挥发性存储器工艺,特别适合智能卡应用。华虹NEC EF130平台具有丰富和全面的Lib/IP,以及完善设计平台,可以在智能卡市场日益升级的市场竞争环境下,为客户提供又一新的支持,引领智能卡市场继续前行。
  
  2特色工艺平台之一BCD平台
  
  BCD是一种单片集成工艺技术。1986年由意法半导体(ST)公司率先开发成功,这种技术能够在同一芯片上制作双极型(bipolar)、CMOS型和DMOS 器件,简称为BCD工艺。BCD工艺综合了双极器件高跨导、强负载驱动能力,CMOS器件集成度高、低功耗的优点以及功率器件高耐压、高效率及可降低芯片功耗等优点。DMOS器件在开关模式下工作,功耗极低,不需要昂贵的封装和冷却系统就可以将大功率传递给负载,低功耗是BCD工艺的一个主要优点之一。BCD工艺的主要应用在需要高压大电流的电源管理(电源和电池管理与保护)的领域,例如显示驱动、汽车电子、工业控制等。在显示驱动和电源管理两大市场强力驱动下,BCD工艺备受关注,成为IDM公司与晶圆代工厂Foundry的开发重点与竞争焦点。
  
   由图4可以看出,在需要大电流的40~100V之间的电压范围,BCD技术是实现高集成度、高电压和低成本的最佳方案。BCD工艺朝着高压、高功率、高密度三个方向分化发展。高密度BCD主要的电压范围是5~50V,一些汽车电子应用会到70V。在此应用领域,BCD技术将集成越来越复杂的功能,今天,有的产品甚至集成了非挥发性存储器。许多电路集成密度较高,需要采用数字设计的方法(如集成微控制器)来实现最佳驱动以提高性能。这代表了持续增长的市场需求,即将信号处理器和功率激励部分同时集成在同一块芯片上。高密度BCD不仅仅是缩小了系统体积,减轻了重量,更带来了高可靠性,减少了各种电磁接口。有着非常广阔的市场应用前景。代表了BCD工艺的主流方向,也是最大的应用领域。电源与电池管理与保护、LED驱动与D类功放等是高密度BCD工艺主要应用领域。
  
  早在2005年,华虹NEC就启动了BCD工艺的开发,现已经成功推出了BCD350 (0.35 微米BCD)与Non-epi BCD350 (非外延 0.35um BCD)两套BCD工艺技术平台,并成功导入量产。华虹NEC在这两个工艺平台开发过程中 积累了丰富的开发经验,现正在开发0.18微米 BCD工艺平台,以期为国内自主开发的电源管理和SOC芯片提供制造和生产技术平台,为实现高端电源管理和SOC芯片的国产化贡献力量。图5给出了华虹NEC BCD工艺平台开发路线图。
  
  3结束语
  
  华虹NEC电子有限公司成立于1997年7月。现已成为世界领先的专业集成电路晶圆代工企业,客户遍及中国大陆、中国台湾、韩国、日本以及美国等国家与地区。公司目前拥有两条8英寸生产线,月产能超过8万片。
  作为国家九五计划重点项目“909”工程主体与唯一国有控股8英寸以上晶圆厂,华虹NEC致力于成为领先的特色工艺技术的纯代工业务提供者,目前,正专注于依靠嵌入式非挥发存储、模拟/电源管理、 功率器件、高压与射频等特色工艺平台为各界服务。

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