【化学汽相沉积及聚合:聚对二甲苯厚膜的生成与特性】 对二甲苯 px
发布时间:2019-02-18 04:24:45 影响了: 人
J.B.福亭,Toh-Ming Lu 著 自1947年聚对二甲苯被发现后,人们就对该类聚合物表现出了极大的兴趣并进行了大量的研究。到目前已经发表了很多的关于聚对二甲苯及其特性的论文,但还没有一本这方面的专著。作者编写这本书的目的就是要全面介绍聚对二甲苯和该族聚合物,以及它们的沉积、沉积设备和生成膜的特性。
全书共7章。第1章介绍聚对二甲苯和该类聚合物,以及它们的沉积过程和应用领域;第2章概述聚对二甲苯沉积设备及其控制仪器;第3章介绍了聚对二甲苯的沉积过程,指出了为获得高质量的生成膜,一个好的控制方式中有哪些主要控制因素;第4章详细介绍了N型聚对二甲苯母体的化学性质,包括单体和二聚物热动力学特性及其质量光谱测定模式;第5章进一步介绍了化学汽相沉积过程的动力学,提供了N型聚对二甲苯沉积的一种速率模型,该模型也可以推广到其他的该族聚合物;第6章包含了许多聚对二甲苯族聚合物特性的数据,同时详细介绍了这些特性的测定方法以及N型厚聚对二甲苯生成膜的复合特性,对于别的聚合物这些测试方法依然适用;第7章综述了非聚对二甲苯聚合物的其它化学汽相沉积方式。
本书详细介绍了聚对二甲苯的沉积过程等多方面的知识,内容全面系统,层次分明,对使用和研究聚对二甲苯生成膜的科研人员是非常有用的,尤其对于首次建立和研究其沉积系统的人更是一本不可多得的参考资料和手册。
侯力群,博士生
(中国科学院力学研究所)
