大连圣迈7N系列超纯气体纯化装置 N是什么气体

　　大连圣迈化学有限公司主要致力于高纯氮、氢、氩、氧、氩、氦、乙烯、丙烯等气体公司的气体终端纯化；电子材料气，MOCVD，半导体和LCD等气体纯化系统；高纯气体供应设施的安装和建造；超纯气体纯化装置；变压吸附装置。
　　7N系列超纯气体纯化装置可分N2、H2、O2、Ar和He等几大类，根据不同的原料气条件和纯化要求，采用不同的纯化工艺，深度脱除原料气中的H2、O2：H2O、CO2、CO、CH4、低碳烃类和N2等杂质，使产品气中各杂质含量均小于10ppb，颗粒小于0.01μm，纯化范围在3 Nｅ／min至8000 Nm3／h。
　　
　　7N超纯气体纯化设备采用中国科学院大连化学物理研究所研制的专利催化剂、再生型吸附剂和吸气剂，具有纯化深度高，抗波动性能强，机械强度高，使用寿命长等特点；元件全部采用专利内加热抛光反应器，进口洁净管道、阀门；设备加工采用Swagelok全自动轨道焊，全面保证产品质量；控制系统采用西门子控制模块和系统，可实现全自动运行，无人操作，并具有实时检测、错误诊断、报警和联锁等功能，全面保证设备的使用稳定性和安全性，可支持单台工艺设备或者整个芯片厂，满足电子企业各种要求。