雷尼绍ml10激光干涉仪【浅谈雷尼绍XL-80激光干涉仪的对光】

工艺与装备

浅谈雷尼绍XL－80激光干涉仪的对光

崔剑平王培林

（山东职业学院，济南250104）

摘要：本文详细介绍了激光干涉仪对光操作流程，包括镜组组装、激光发射器的定位、镜组在机床位置调

整及激光干涉仪调整顺序等内容。

关键词：激光干涉仪对光

雷尼绍XL－80激光干涉仪是机床制造、维修行业经常使用的高精密设备之一，主要用于机床精度检测与调整。激光干涉仪在使用中，对光操作要求严格、繁琐、耗时，一般对光操作完成需要半小时以上。笔者以雷尼绍Renishaw）激光干涉仪为例，对该问题进行了深入的研究，按照我们总结的对光技巧，最快5分钟就可以完成对光操作，这样对于激光干涉仪的使用，带来很大的方便，现总结如下。1光干涉现象

频率相同光波相遇时，光波的振幅叠加,出现明暗相间的条纹的现象叫做光的干涉（图1）。2激光干涉仪测距原理

如图2所示，激光器生成的激光在经过分光镜A以后，变为反射光S1、透射光S2，S1被固定反射镜M1反射、S2被移动反射镜M2反射，S1和S2在分光镜A处相遇，产生激光干涉现象。

图1图2

如果激光S1、S2移动距离差为nλ(λ-激光波长，n为零或正整数)，此时干涉合成光的振幅为S1、S2两个激光振幅之和，光亮度最大，形成明条纹，如图3所示；如果激光S1、S2移动距离差为λ/2(或者是半波长的奇数倍)，此时干涉合成光的振幅为S1、S2两个激光振幅之差，振幅和为零，光强最小，形成暗条纹。

图3

激光干涉仪中的光电转换元件接收到干涉条纹后转换为电信号，处理后利用计数器计数，可以实现对位移量的测测。

激光单色性好，波长值准确，波长短，激光干涉仪的分辨率至少为λ/2，用激光干涉法测距的精度极高。3对光操作

激光束S1、S2产生干涉，对激光发生器、反射镜M1、M2的位置，要求极为严格，这就使得激光干涉仪在使用过程中的对光操作，难度极大，不熟悉的操作者，反复调整，耗时极长，影响测量效果。笔者以雷尼绍（Renishaw）激光干涉仪为例，对该问题进行了深入的研究，现总结如下。

3.1激光干涉仪安装

3.1.1分光镜与两反射光镜的安装

（1）光镜组装。组装光镜应该在平板上进行，以光镜的一个面作为基准，紧固螺栓紧固前，保证光镜固定座与光镜的正确位置（图4）。

（2）光镜在机床上的定位。光镜在机床上的定位，非常重要，涉及到对光操作的时间。首先将分光镜固定在机床主轴上，目测镜组与机床Y轴平行，然后固定移动反光镜组，目测两镜组在X坐标方向在一条直线上（图5）。

图4

图5

在使用高度尺、大理石角尺、平尺、角度测量仪等量具，以镜组底面为基准，调整两组光镜的位置关系：高度误差

3.1.2激光发射器的安装

激光发射器的位置要求水平，与分光镜、在一条直线上，与移动反射光镜垂直。安装中，首先使用水平仪检测激光发射器的水平，保证它处于水平位置，然后沿激光发

射器上表面直线（图6）目测激光发射器、分光镜、是否在

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